5月17日消息,国家知识产权局信息显示,上海伟测半导体科技股份有限公司申请一项名为“晶圆测试装置”的专利,授权公告号CN121578108B,授权公告日为2026年5月15日。申请公布号为CN121578108A,申请号为CN202610114304.3,申请公布日期为2026年5月15日,申请日期为2026年1月28日,发明人费春潮、关姜维、孙策、刘清华,专利代理机构上海领洋专利代理事务所(普通合伙),专利代理师罗晓鹏,分类号G01R31/28、G01R1/067。
专利摘要显示,本公开涉及晶圆测试领域,涉及一种晶圆测试装置,包括承载件、探针件、第一图像采集部件和加热台。其中探针件设于所述承载件,供与待测晶圆表面的待测部位相抵以形成针痕。第一图像采集部件设于所述承载件,用于采集所述待测晶圆的含有针痕的待测部位图像。加热台供承载及加热待测晶圆,与所述承载件之间可相对运动配合地设置,以允许在所述探针件被保持在所述加热台的加热范围内的情况下,所述探针件和第一图像采集部件能分别完成所述针痕的形成以及所述待测部位图像的采集。本公开的一种晶圆测试装置,在测试过程中探针保持加热,有利于保证高温测试的可靠性和提高测试效率。
伟测科技成立于2016年5月6日,于2022年10月26日在上海证券交易所上市,注册地址与办公地址均位于上海。它是国内领先的集成电路测试服务商,提供专业测试服务,技术实力强,客户资源优质。
伟测科技主营业务涵盖晶圆测试、芯片成品测试以及与集成电路测试相关的配套服务,所属申万行业为电子 - 半导体 - 集成电路封测,概念板块包括Chiplet概念、中盘、送转填权。
2025年,伟测科技实现营业收入15.75亿元,在行业14家公司中排名第8,与第一名长电科技的388.71亿元、第二名通富微电的279.21亿元差距较大,低于行业平均数74.8亿元,接近行业中位数16.79亿元。其主营业务中,晶圆测试收入8.61亿元,占比54.70%;芯片成品测试收入6.33亿元,占比40.22%;其他(补充)8008.05万元,占比5.09%。净利润方面,2025年达到3.03亿元,行业排名第6,与第一名长电科技的15.7亿元、第二名通富微电的13.77亿元有差距,略低于行业平均数4.06亿元,高于行业中位数2.1亿元。
上海伟测半导体科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 探针过驱量的确定方法及半导体设备 | 发明专利 | 公布 | CN202610443296.7 | 2026-04-07 | CN121978499A | 2026-05-05 | 孙策、关姜维、张凯、邢涛、刘清华、许威龙 |
| 2 | 温控系统及封装测试方法 | 发明专利 | 授权 | CN202610250586.X | 2026-03-03 | CN121784507B | 2026-05-15 | 左上勇、吴盼盼 |
| 3 | 一种结合全值仿真与二分法的电压Trim测试方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610149246.8 | 2026-02-03 | CN121633797A | 2026-03-10 | 古睿、关姜维、崔丽娜、郭敬 |
| 4 | 晶圆检测装置及检测设备 | 发明专利 | 授权 | CN202610128856.X | 2026-01-30 | CN121596083B | 2026-05-08 | 费春潮、关姜维、孙策、刘清华 |
| 5 | 晶圆测试装置 | 发明专利 | 授权 | CN202610114304.3 | 2026-01-28 | CN121578108B | 2026-05-15 | 费春潮、关姜维、孙策、刘清华 |
| 6 | 晶圆测试装置及测试设备 | 发明专利 | 授权 | CN202610106639.0 | 2026-01-27 | CN121578106B | 2026-05-01 | 费春潮、关姜维、孙策、刘清华 |
| 7 | 一种基于Chroma平台的通用寄存器Pattern生成方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610009438.9 | 2026-01-06 | CN121455763A | 2026-02-03 | 郭兵、关姜维、王学让、郭敬 |
| 8 | 测试方法及其测试装置 | 发明专利 | 授权 | CN202610004536.3 | 2026-01-05 | CN121476905B | 2026-05-01 | 左上勇、蒋治宇 |
| 9 | 一种异步时钟的同步通讯方法、装置以及基于异步时钟通讯的测试方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510153686.6 | 2025-02-12 | CN119961074A | 2025-05-09 | 张伟军、王倩倩、左上勇 |
| 10 | 示波器探头夹持装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411990537.7 | 2024-12-31 | CN120064724A | 2025-05-30 | 崔丽娜、王学让、郭敬 |
| 11 | 一种芯片检测装置用支撑平台 | 实用新型 | 授权 | CN202423101776.0 | 2024-12-16 | CN223671200U | 2025-12-16 | 王兵兵 |
| 12 | 一种自动清洁的清针装置、控制系统 | 实用新型 | 授权 | CN202423101767.1 | 2024-12-16 | CN223917553U | 2026-02-17 | 康泉 |
| 13 | 一种半导体测试设备用水平度验证装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423087039.X | 2024-12-13 | CN223610849U | 2025-11-28 | 李广东 |
| 14 | 一种外抽包装机用承载台 | 实用新型 | 授权 | CN202423087040.2 | 2024-12-13 | CN223673000U | 2025-12-16 | 张伟 |
| 15 | 一种一体式芯片托盘轨道挡板 | 实用新型 | 授权 | CN202422853588.7 | 2024-11-22 | CN223408884U | 2025-10-03 | 张承军 |
| 16 | 一种快接式吸头及其辅助扳手 | 实用新型 | 授权 | CN202422853587.2 | 2024-11-22 | CN223406998U | 2025-10-03 | 张承军 |
| 17 | 一种防回弹装置及烤箱 | 实用新型 | 授权 | CN202321363987.4 | 2023-05-31 | CN220203660U | 2023-12-19 | 张凯 |
| 18 | 一种限位装置及晶圆检验承载台 | 实用新型 | 授权 | CN202321364346.0 | 2023-05-31 | CN220323151U | 2024-01-09 | 孙策 |
| 19 | 一种冷凝水隔绝装置及降温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202320690307.3 | 2023-03-31 | CN219222990U | 2023-06-20 | 崔帅涛 |
| 20 | 一种降温装置的支架及降温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202320690238.6 | 2023-03-31 | CN219221820U | 2023-06-20 | 崔帅涛 |
| 21 | 一种温度测试机台封闭结构 | 实用新型 | 授权 | CN202320690230.X | 2023-03-31 | CN219456785U | 2023-08-01 | 邢涛 |
| 22 | 一种芯片测试机站台固定支架 | 实用新型 | 授权 | CN202320342786.X | 2023-02-28 | CN219389326U | 2023-07-21 | 李广东 |
| 23 | 一种芯片测试机的支撑机构 | 实用新型 | 授权 | CN202320342785.5 | 2023-02-28 | CN219434903U | 2023-07-28 | 蔡豆豆 |
| 24 | 一种半导体测试装置 | 实用新型 | 授权 | CN202320342787.4 | 2023-02-28 | CN219434980U | 2023-07-28 | 周忠华 |
| 25 | 一种机台维护器具推送装置 | 实用新型 | 授权 | CN202222613914.8 | 2022-09-30 | CN218367922U | 2023-01-24 | 陈海鑫 |
| 26 | 一种传感器探头快速拆装结构及晶圆测试机承载平台 | 实用新型 | 授权 | CN202222616452.5 | 2022-09-30 | CN218956722U | 2023-05-02 | 张伟 |
| 27 | 一种具有防碰撞功能的中继板 | 实用新型 | 授权 | CN202221704479.3 | 2022-07-04 | CN218099448U | 2022-12-20 | 关姜维、刘清华 |
| 28 | 一种基于半导体测试的限位柱 | 实用新型 | 授权 | CN202221683741.0 | 2022-06-30 | CN218099262U | 2022-12-20 | 崔帅涛、唐学波 |
| 29 | 一种晶圆测试台降温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202221683735.5 | 2022-06-30 | CN218380113U | 2023-01-24 | 唐学波、崔帅涛 |
| 30 | 一种常高温机台腔体内部温度降温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220514572.1 | 2022-03-09 | CN217064404U | 2022-07-26 | 巴伟国、唐学波、孙秀峰 |
| 31 | 一种对接板锁紧装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220516851.1 | 2022-03-09 | CN217156582U | 2022-08-09 | 唐学波、巴伟国 |
| 32 | 一种电脑支架 | 实用新型 | 授权 | CN202220514569.X | 2022-03-09 | CN217503133U | 2022-09-27 | 李一然、孙秀峰、巴伟国 |
| 33 | 一种半导体测试机环境校正装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220516853.0 | 2022-03-09 | CN217506105U | 2022-09-27 | 孙秀峰、邢涛、张伟 |
| 34 | 一种半导体编带机面带导向装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220399536.5 | 2022-02-25 | CN216784099U | 2022-06-21 | 王刚、王兵兵、李广东 |
| 35 | 一种方卡上歪及松动的报警装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220398198.3 | 2022-02-25 | CN217061135U | 2022-07-26 | 张伟、李一然、唐学波 |
| 36 | 一种厂务压缩空气湿度检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220398545.2 | 2022-02-25 | CN217505720U | 2022-09-27 | 邢涛、张伟、李一然 |
| 37 | 一种晶圆片输送存放装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220343256.2 | 2022-02-21 | CN216784296U | 2022-06-21 | 于文奇、乔立宝、张彦锋 |
| 38 | 一种晶圆吹风清洁装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220343257.7 | 2022-02-21 | CN217043795U | 2022-07-26 | 张彦锋、乔立宝、于文奇 |
| 39 | 一种芯片封合装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220325171.1 | 2022-02-17 | CN216793625U | 2022-06-21 | 王刚、李广东、张冬冬 |
| 40 | 一种芯片包装卡盘安装装置 | 实用新型 | 授权 | CN202220321961.2 | 2022-02-17 | CN218664800U | 2023-03-21 | 王刚、李广东、张冬冬 |
| 41 | 一种半导体材料干燥柜 | 实用新型 | 授权 | CN202220313360.7 | 2022-02-16 | CN217488013U | 2022-09-27 | 乔立宝、于文奇、张彦锋 |
| 42 | 一种防掉落的晶圆打点工作台 | 实用新型 | 授权 | CN202220313893.5 | 2022-02-16 | CN218099454U | 2022-12-20 | 张彦锋、乔立宝、于文奇 |
| 43 | 一种半导体压模治具 | 实用新型 | 授权 | CN202123344227.2 | 2021-12-28 | CN216540637U | 2022-05-17 | 王刚、李广东、张冬冬 |
| 44 | 一种半导体测试设备的吸嘴 | 实用新型 | 授权 | CN202123344188.6 | 2021-12-28 | CN217060283U | 2022-07-26 | 王刚、王兵兵、李广东 |
| 45 | 一种测试头移动装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123338666.2 | 2021-12-28 | CN217505909U | 2022-09-27 | 李一然、崔勇彬、王宪兵 |
| 46 | 一种晶圆转运装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123284451.7 | 2021-12-24 | CN216543227U | 2022-05-17 | 傅郁晓、孙玉男、孙鹏彪 |
| 47 | 一种半导体生产设备降温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123284450.2 | 2021-12-24 | CN216563073U | 2022-05-17 | 闻国涛 |
| 48 | 一种针卡测试防呆装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123226284.0 | 2021-12-21 | CN216560894U | 2022-05-17 | 傅郁晓、孙鹏彪、孙玉男 |
| 49 | 一种测试机接线防错插装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123224487.6 | 2021-12-21 | CN216560700U | 2022-05-17 | 闻国涛 |
| 50 | 一种晶圆分片装置 | 实用新型 | 授权 | CN202123226239.5 | 2021-12-21 | CN216563051U | 2022-05-17 | 傅郁晓、孙玉男、孙鹏彪 |
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