12月30日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“一种方形基板涂胶后对边缘进行高精度光阻去除的装置”的专利。申请公布号为CN121232551A，申请号为CN202511615288.8，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2025年11月6日，发明人郭生华、陈建、张逢洋、龚明、阚宇迪，专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司，专利代理师杨旭，分类号G03F7/42、B05D3/10。

专利摘要显示，本发明属于半导体设备技术领域，具体地说是一种方形基板涂胶后对边缘进行高精度光阻去除的装置，包括工作台、方形基板承接架组件、承载台、承载台旋转升降驱动结构、侧边喷嘴平移驱动结构、喷嘴组件。本发明通过方形基板承接架组件、承载台、承载台旋转升降驱动结构、侧边喷嘴平移驱动结构、喷嘴组件的配合设置，可使方形基板在进行边缘光阻去除时保持位置不动，而喷嘴组件相对方形基板进行精确的X轴及Y轴运动，可明显提高方形基板剩余可利用涂覆区域的面积，并能保证去边形状的直线性；还可在喷液去除光阻时同时对方形基板喷出氮气，防止药液对设定切边距离以外的涂覆光阻区域造成侵蚀，以达到更高要求的切除精度。

芯源微成立于2002年12月17日，于2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备的领先企业，产品打破国外垄断，具备显著技术壁垒。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，涉及半导体设备、光刻胶、中芯国际概念等概念板块。

2025年三季度，芯源微实现营业收入9.9亿元，在23家同行中排名第13，远低于第一名北方华创的273.01亿元和第二名中微公司的80.63亿元，行业平均数为30.84亿元，中位数为11.03亿元。净利润方面，当期亏损2621.03万元，行业排名22/23，第一名北方华创盈利49.8亿元，第二名盛美上海盈利12.66亿元，行业平均数为5.04亿元，中位数为1.29亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

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