盛美上海申请基板处理法相关专利，基板浸入电镀液，排泡保厚度均匀提良率_财经一览

盛美上海申请基板处理法相关专利，基板浸入电镀液，排泡保厚度均匀提良率

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2025-12-30 20:16:45

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12月30日消息，国家知识产权局信息显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“基板处理方法”的专利。申请公布号为CN121228332A，申请号为CN202410856154.4，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2024年6月27日，发明人王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师骆希聪，分类号C25D21/04、C25D21/10、C25D7/12。

专利摘要显示，本发明提供一种基板处理方法，包括：保持基板相对于电镀液的液面倾斜；垂直往下移动所述基板，使所述基板与所述电镀液接触；放平所述基板，将所述基板浸入所述电镀液中，本发明中基板处理方法，在浸入基板至电镀液过程中，基板与电镀液液面倾斜以使气泡沿着倾斜的基板表面逸出，并且基板不旋转能够防止基板的角搅动电镀液，而基板以预定速度旋转有助于在基板浸入电镀液中时排出附着在基板表面的气泡，保证基板表面电镀厚度均匀，提高产品良率。

天眼查数据显示，盛美半导体设备（上海）股份有限公司成立日期1970年1月14日，法定代表人HUI WANG，所属行业为专用设备制造业，企业规模为大型，注册资本47989.2514万人民币，实缴资本37264.99万人民币，注册地址为中国（上海）自由贸易试验区丹桂路999弄5、6、7、8号全幢。盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息38条，专利信息662条，拥有行政许可31个。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司近期专利情况如下：

序号	专利名称	专利类型	法律状态	申请号	申请日期	公开(公告)号	公开(公告)日期	发明人
1	基片湿法处理装置及基片处理设备	发明专利	公布	CN202511696240.4	2025-11-19	CN121149062A	2025-12-16	李亚洲、贾社娜、王俊、林金木、方波、李昱
2	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511376375.2	2025-09-25	CN120878605A	2025-10-31	苏政、贾社娜、邓新平
3	供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质	发明专利	公布	CN202511292108.7	2025-09-11	CN120767230A	2025-10-10	苏政、贾社娜、李彬、邓新平
4	处理液供给机构及涂覆装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202511292109.1	2025-09-11	CN120790418A	2025-10-17	程成、吴均、赵中旭、徐飞、王坚、李康植
5	排气用防腐组件及炉管设备	发明专利	授权	CN202511100391.9	2025-08-07	CN120591755B	2025-12-12	段航、周冬成
6	单片晶圆干燥设备及干燥方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202510873904.3	2025-06-27	CN120403215A	2025-08-01	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、李兴、宗源
7	薄膜沉积装置及薄膜沉积方法	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510874680.8	2025-06-27	CN120366747B	2025-09-23	戴明宇、周培垄、李天天、费红财、陈更明、成康、金京俊
8	基片盒存储装置、工作方法及基片处理设备	发明专利	授权、公布	CN202510780743.3	2025-06-12	CN120319704B	2025-10-17	许创威、贾社娜、张大海
9	双级溅液监测系统、方法及计算机可读介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510594876.1	2025-05-09	CN120127033B	2025-08-15	谢翔、张晓燕、胡海波、陶泽魏、宗源
10	晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510526003.7	2025-04-25	CN120072715B	2025-07-25	王双五、苏飘、朱国辉、宗源、胡海波、张晓燕
11	化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510432151.2	2025-04-08	CN119934438B	2025-08-08	陶泽魏、胡海波、张晓燕
12	化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510432151.2	2025-04-08	CN119934438B	2025-08-08	陶泽魏、胡海波、张晓燕
13	炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510312070.9	2025-03-17	CN119824390B	2025-07-11	杨扬、贾社娜、张大海
14	炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510312070.9	2025-03-17	CN119824390B	2025-07-11	杨扬、贾社娜、张大海
15	进气管及炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510295477.5	2025-03-13	CN119800332B	2025-07-04	蒯蔚、周冬成、蒋攀辉
16	进气管及炉管设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510295477.5	2025-03-13	CN119800332B	2025-07-04	蒯蔚、周冬成、蒋攀辉
17	基板处理设备及方法	发明专利	实质审查的生效、实质审查的生效、公布	CN202510114602.8	2025-01-23	CN120143565A	2025-06-13	徐飞、李康植、吴均、杨仁政、程成、王坚
18	晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510066274.9	2025-01-16	CN119480619B	2025-04-25	戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕
19	晶圆缓冲层边缘的清洗方法和设备	发明专利	授权、实质审查的生效、公布	CN202510066274.9	2025-01-16	CN119480619B	2025-04-25	戴奔、刘畅、仰庶、张晓燕
20	基板处理装置	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202411383228.3	2024-09-29	CN120033106A	2025-05-23	王晖、陶晓峰、黄天宇、韩阳、何西登、贾社娜、刘文博、张晓燕、胡海波、刘阳、吴杨
21	用于方形基板的卡盘	发明专利	公布	CN202411358048.X	2024-09-26	CN121192044A	2025-12-23	王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华
22	支撑装置及基板退火设备	发明专利	授权	CN202411351739.7	2024-09-25	CN119920747B	2025-11-14	顾昱、王玉玺、杨宏超、王晖、王坚
23	管路拆装工装	发明专利	授权	CN202411028309.1	2024-07-29	CN119927842B	2025-12-19	杨超繁、贾社娜、张大海
24	一种组分分离装置、液体回收设备及方法	发明专利	公布	CN202410867969.2	2024-06-28	CN121222097A	2025-12-30	魏雄飞、石宁、王文军、张晓燕、邓新平
25	电镀装置及电镀方法	发明专利	公布	CN202410865294.8	2024-06-28	CN121228330A	2025-12-30	吴勐、肖炎、杨宏超、贾照伟、王坚、王晖
26	基板处理方法	发明专利	公布	CN202410856154.4	2024-06-27	CN121228332A	2025-12-30	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、刁建华、肖炎、吴勐
27	刷子组件和半导体清洗设备	发明专利	公布	CN202410856136.6	2024-06-27	CN121222715A	2025-12-30	孙建、朱国辉、王晖
28	清洁系统及退火装置	发明专利	公布	CN202410854337.2	2024-06-27	CN121222752A	2025-12-30	刘林波、余齐兴、金一诺、司生辉、宋永灏、王玉玺
29	基板边缘刻蚀装置	发明专利	公布	CN202410854349.5	2024-06-27	CN121237674A	2025-12-30	顾争荣、初振明、王东东、张晓燕、贾福金、向阳
30	电镀装置	发明专利	公布	CN202410852582.X	2024-06-27	CN121228324A	2025-12-30	花宇、杨宏超、金一诺、王坚、王晖
31	加热装置及基板处理设备	发明专利	公布	CN202410852574.5	2024-06-27	CN121237673A	2025-12-30	王晖、贾社娜、苏政、路添竣、陶泽魏、季昆、邓新平
32	基板定位装置及基板定位方法	发明专利	公布	CN202410843707.2	2024-06-26	CN121215586A	2025-12-26	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚
33	化学气相沉积方法	发明专利	公布	CN202410844357.1	2024-06-26	CN121204634A	2025-12-26	孙旭海、刘满成
34	高温炉管的密封结构及密封方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202410825152.9	2024-06-24	CN119845044A	2025-04-18	吕策、张大海、王晖、沈周燮
35	边缘刻蚀位置的控制方法及装置	发明专利	公布	CN202410825019.3	2024-06-24	CN121215519A	2025-12-26	庞博、肖登、初振明、张晓燕、王晖
36	边缘清洗装置及边缘清洗方法	发明专利	实质审查的生效、公布	CN202410816709.2	2024-06-21	CN120237044A	2025-07-01	王晖、王坚、贾照伟、杨宏超、杨小亚
37	用于方形基板的卡盘	发明专利	公布	CN202410816350.9	2024-06-21	CN121192043A	2025-12-23	王晖、王坚、吴均、杨宏超、杨小亚、刁建华
38	用于电镀设备的检测方法及检测系统	发明专利	公布	CN202410782849.2	2024-06-17	CN121155061A	2025-12-19	石轶、左经之、任正博、王晖、金一诺
39	晶圆处理装置	发明专利	公布	CN202410782703.8	2024-06-17	CN121171920A	2025-12-19	戴明宇、贺斌、费红财、田连刚、朱志君、金京俊
40	立式炉管	发明专利	公布	CN202410783591.8	2024-06-17	CN121161259A	2025-12-19	吕策、王晖、贾社娜、张大海
41	薄膜沉积装置及薄膜沉积方法	发明专利	公布	CN202410783053.9	2024-06-17	CN121161269A	2025-12-19	田连刚、王晖、贺斌、金京俊
42	一种用于基板夹具的密封件以及基板夹具	发明专利	公布	CN202410775356.6	2024-06-14	CN121137756A	2025-12-16	陆陈华、杜阳、杨宏超、贾照伟、张静、王坚、王晖
43	旋转轴及基板保持装置	发明专利	公布	CN202410759087.4	2024-06-12	CN121123106A	2025-12-12	韩阳、黄天宇、王涛、王涛、邵留宝
44	基板热处理装置	发明专利	公布	CN202410758318.X	2024-06-12	CN121123057A	2025-12-12	张剑松、王文军、王晖、李康植
45	射频功率调节装置及方法	发明专利	公布	CN202410758312.2	2024-06-12	CN121124833A	2025-12-12	朱志君、王晖、金京俊
46	一种封装结构的清洗方法及清洗装置	发明专利	公布	CN202410687252.X	2024-05-29	CN121054512A	2025-12-02	陆陈华、贾照伟、张静、王坚、王晖
47	一种封装结构的清洗装置及清洗方法	发明专利	公布	CN202410687295.8	2024-05-29	CN121042286A	2025-12-02	麻森朋、赵悦、贾照伟、杨宏超、陆陈华、王坚、王晖
48	进气系统及炉管设备	发明专利	公布	CN202410685462.5	2024-05-29	CN121046813A	2025-12-02	李抒怀、周冬成、石家燕
49	一种晶圆预湿方法及装置	发明专利	公布	CN202410684019.6	2024-05-29	CN121054564A	2025-12-02	李旻旭、代兰奎、王晖、金一诺、贾照伟
50	风机组件及排放设备	发明专利	公布	CN202410683640.0	2024-05-29	CN121047828A	2025-12-02	党琪、贾社娜、仲召明、陆圣平、孔林雁、开佳伟

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