恒运昌真空申请阻抗匹配电路相关专利,数字化控制实现射频与负载阻抗匹配提效
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2026-05-17 09:37:21
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5月17日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“数字化阻抗匹配电路和等离子体处理设备”的专利。申请公布号为CN122052738A,申请号为CN202411617602.1,申请公布日期为2026年5月15日,申请日期为2024年11月13日,发明人乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光,专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代理事务所,专利代理师雷景怡,分类号H03H11/28、H05H1/24。

专利摘要显示,本发明提出一种数字化阻抗匹配电路和等离子体处理设备,涉及电子电路技术领域,等离子体处理设备包括射频模块,射频模块用于输出射频信号至负载,数字化阻抗匹配电路包括转换电路、处理电路和阻抗匹配器。转换电路将射频模块的射频信号转换为数字信号;处理电路根据数字信号计算射频模块的实际阻抗,并将实际阻抗与预设阻抗进行比较,并根据比较结果生成对应的控制信号;阻抗匹配器根据控制信号对射频模块的实际阻抗进行调节,以使射频模块与负载之间的阻抗匹配。本发明通过数字化控制方式实现射频模块与负载之间的阻抗匹配,具有高精度、高灵活性以及高稳定性的特点,在等离子体处理设备中提供了更高的信号传输效率和成本效益。

恒运昌于2013年3月19日成立,2026年1月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为广东省深圳市。该公司是国内等离子体电源领域的重要企业,专注等离子体电源及相关配件研发生产,具备技术与全产业链服务的差异化优势。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等的研发、生产、销售及技术服务,引进相关核心零部件,提供核心零部件整体解决方案。所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,概念板块涵盖半导体设备、中芯国际概念、新股与次新股。

2025年,恒运昌营业收入5.29亿元,在行业25家公司中排名第21,远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元,也低于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元。主营业务中,自研产品收入4.15亿元,占比78.38%;引进产品8661.32万元,占比16.36%;技术服务2788.26万元,占比5.27%。净利润1.14亿元,行业排名15/25,与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距较大,低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰
2射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东
3石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波
4电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰
5基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵
6烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩
7一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群
8共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东
9等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛
10气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛
11等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛
12离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平
13匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平
14电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮
15一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群
16一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群
17一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群
18一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群
19一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群
20射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平
21滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平
22滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平
23双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平
24射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平
25滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平
26功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平
27松不脱安装组件实用新型授权CN202520156074.82025-01-22CN223810010U2026-01-16杨靖、黄晓东
28射频电路实用新型授权CN202520157802.72025-01-22CN223928310U2026-02-17林伟群、关广宁、黄磊新
29一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路实用新型授权CN202520140574.22025-01-21CN223785972U2026-01-09林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
30一种射频电源及其逆变器保护电路实用新型授权CN202520140249.62025-01-21CN224021633U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
31一种逆变电路及信号调制电路实用新型授权CN202520140395.92025-01-21CN224021634U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
32一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统实用新型授权CN202423044917.X2024-12-09CN223481276U2025-10-28乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛
33一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423027145.92024-12-09CN223694047U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵
34一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423026797.02024-12-09CN223694046U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵
35一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置实用新型授权CN202423031888.32024-12-09CN223780331U2026-01-09乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛
36一种阻抗调整器的输出调节电路实用新型授权CN202422987888.42024-12-04CN223928291U2026-02-17杨佩铮、林伟群、毛元韬
37数字化阻抗匹配电路和等离子体处理设备发明专利公布CN202411617602.12024-11-13CN122052738A2026-05-15乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光
38阻抗匹配器的电感选型方法和电感选型分析仪发明专利公布CN202411617604.02024-11-13CN122047130A2026-05-15乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光
39一种阻抗匹配器及等离子体产生设备实用新型授权CN202422545924.12024-10-21CN223322057U2025-09-09乐卫平、林伟群、唐亚海、谢幸光
40电感可调节的阻抗匹配电路、阻抗匹配调节方法、存储介质和等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411469520.72024-10-21CN121907176A2026-04-21乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
41点火电路及等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411446892.82024-10-16CN121886998A2026-04-17林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
42辅助电源电路、射频电源、电路运行方法和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411430706.12024-10-14CN121863834A2026-04-14林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平
43高频阻抗匹配器及等离子体产生装置实用新型授权CN202422341921.62024-09-24CN223141896U2025-07-22乐卫平、唐亚海、姚志毅、谢幸光
44阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411335177.72024-09-24CN121727517A2026-03-24乐卫平、姚志毅、林伟群、谢幸光
45一种防雷保护电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备实用新型授权CN202422054607.X2024-08-22CN223273857U2025-08-26乐卫平、姚志毅、唐亚海、谢幸光
46温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411152507.92024-08-21CN119051615A2024-11-29乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光
47阻抗匹配器和等离子体产生装置实用新型授权CN202422040622.92024-08-21CN223246554U2025-08-19乐卫平、林伟群、姚志毅、谢幸光
48匹配器的保护电路及等离子体产生装置发明专利公布CN202411007394.32024-07-25CN118921826A2024-11-08乐卫平、林伟群、姚志毅、刘涛
49阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置发明专利公布CN202411007383.52024-07-25CN118942995A2024-11-12乐卫平、林桂浩、唐亚海、姚志毅
50多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411007396.22024-07-25CN119010828A2024-11-22乐卫平、林伟群、姚志毅、杨佩铮

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