12月30日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆科技股份有限公司申请一项名为“传送晶圆的方法和机械手臂”的专利。申请公布号为CN121237707A，申请号为CN202511412870.4，申请公布日期为2025年12月30日，申请日期为2020年12月31日，发明人请求不公布姓名、李慧，专利代理机构上海专利商标事务所有限公司，专利代理师徐迪，分类号H01L21/677、H01L21/683。

专利摘要显示，本申请涉及一种传送晶圆的方法和机械手臂。所述方法包括：将第一晶圆提供到机械手臂的手指部前端；伸展所述机械手臂到第一长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到第一处理腔室中的第一处理位置；将所述第一晶圆放置于所述第一处理位置；收缩所述机械手臂使所述机械手臂的所述手指部前端移出所述第一处理腔室；将第二晶圆提供到所述机械手臂的所述手指部前端；伸展所述机械手臂到第二长度使所述机械手臂的所述手指部前端移动到所述第一处理腔室中的第二处理位置，其中所述第二长度不同于所述第一长度；以及将所述第二晶圆放置于所述第二处理位置。

拓荆科技成立于2010年4月28日，于2022年4月20日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均在辽宁省沈阳市。它是国内半导体薄膜沉积设备领先企业，产品打破国外垄断，技术优势明显。

拓荆科技的主营业务为高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，属于半导体设备、中芯国际概念、大基金概念板块。

2025年三季度，拓荆科技实现营业收入42.2亿元，在23家同行业公司中排名第4，高于行业平均数30.84亿元和中位数11.03亿元，但与第一名北方华创的273.01亿元、第二名中微公司的80.63亿元有差距。同期净利润为5.36亿元，行业排名第6，高于行业平均数5.04亿元和中位数1.29亿元，不过和第一名北方华创的49.8亿元、第二名盛美上海的12.66亿元相比仍有提升空间。

拓荆科技股份有限公司近期专利情况如下：

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