9月8日消息，国家知识产权局信息显示，上海盛剑科技股份有限公司申请一项名为“一种真空泵部件及干式真空泵”的专利，授权公告号CN224716672U，授权公告日为2026年9月4日。申请号为CN202522120241.6，申请公布日期为2026年9月4日，申请日期为2025年9月30日，发明人张伟明、王然，专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理有限公司，专利代理师张洋，分类号C23C18/32、F04C18/12、F04C25/02、F04C29/00、F04C29/12。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种真空泵部件及干式真空泵，涉及真空泵技术领域。真空泵部件的基材表面涂覆有至少第一镀层和第二镀层。第一镀层涂覆于基材表面，第二镀层涂覆于第一镀层。第一镀层为高磷NiP镀层，第二镀层包括中磷NiP‑SiC镀层和中磷NiP‑PTFE镀层，或，第二镀层包括高磷NiP‑SiC镀层以及中磷NiP‑PTFE镀层，以此提高耐腐蚀性、耐磨性以及硬度，因而提高了干式真空泵的耐用性和可靠性，降低维护频率，确保生产过程的安全与稳定。

盛剑科技成立于2012年6月15日，于2021年4月7日登陆上海证券交易所，注册及办公所在地均为上海市，是国内泛半导体废气治理领域的领先服务商，依托全链条技术优势为下游半导体产业提供核心治理解决方案。

公司主营泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理，从申万行业分类来看隶属于环保板块下的环保设备赛道，同时覆盖半导体产业、半导体设备等核心概念板块。

2026年上半年，盛剑科技实现营业收入4.52亿元，在27家同行业企业中排名第13位，该数值略高于行业4.1亿元的中位数，低于12.44亿元的行业平均数，同期行业内营收排名前两位的企业分别为盈峰环境（78.72亿元）、华宏科技（55.96亿元）。营收结构方面，公司绿色厂务系统贡献收入3.12亿元，占比68.99%；设备及关键零部件产品收入1.13亿元，占比25.04%；电子化学品收入2507.91万元，占比5.55%；其他补充类收入187.74万元，占比0.42%。盈利端，当期公司净利润为-9933.25万元，在27家同行业企业中排名第26位，大幅低于7221.91万元的行业平均数与1707.71万元的行业中位数，同期行业净利润前两位企业分别为紫金龙净（5.58亿元）、盈峰环境（4.84亿元）。

上海盛剑科技股份有限公司近期专利情况如下：

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