国林科技：碳化硅晶圆清洗或可用臭氧水替代RCA清洗
创始人
2026-08-10 09:43:53
0次
投资者提问：
董秘您好，我查询到了其他公司有碳化硅晶圆清洗方法第一步就是臭氧水清洗，请问公司作为半导体臭氧水设备的专家，想请问一下碳化硅晶圆清洗会用到臭氧水清洗吗？为什么要用臭氧水清洗替代RCA清洗？
董秘回答(国林科技SZ300786)：
尊敬的投资者，您好。根据清洗质的不同，目前半导体行业清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种工艺路线。湿法清洗是采用特定的化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，以去除品圆制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层、抛光残留物等物质。传统的RCA清洗法需要大量的化学试剂，带来了成本的增加以及均匀性不一致的问题，高浓度臭氧水清洗技术或与传统的清洗技术结合（RCA清洗、稀释化学法、IMEC清洗法及单品片清洗）可有效避免或减少浓硫酸、氢氟酸等化学药剂的使用量，去除有机污染物的同时还能在品圆表面形成一层致密的氧化膜。感谢您的关注。
查看更多董秘问答>>免责声明：本信息由Hehson财经从公开信息中摘录，不构成任何投资建议；Hehson财经不保证数据的准确性，内容仅供参考。
相关内容
热门资讯
泰州到上海将缩短至1.5小时，...
（来源：上观新闻）9月3日，北沿江高铁沪宁段正式开启铺轨作业，项目建设迈入全新阶段。目前，路基、桥梁...
全区民营经济普法惠企活动举行
（来源：内蒙古日报）转自：内蒙古日报本报9月4日讯 （记者 李永桃）9月4日，由内蒙古自治区发展...
《中国新疆地区历史》《中国新疆...
光明日报北京9月4日电（记者李睿宸、赵明昊）《中国新疆地区历史》《中国新疆地区宗教史》新书发布仪式2...
首届巴西文化节在京举办
光明日报北京9月4日电（记者田呢）首届巴西文化节日前在北京798艺术区启幕。作为2026“中巴文化年...
24名天津运动员成功入选
（来源：天津日报）转自：天津日报 本报讯（记者 李蓓）昨天，爱知·名古屋亚运会中国体育代表团在北京...
档案走出库房 走进百姓生活
（来源：天津日报）转自：天津日报 昨日一早，天津市档案馆门口便聚起不少市民。有人拿着身份证排队入馆...
【太原•11月3-5日】开课壮...
（来源：国医盛世）壮医特色挑截根疗法，痔疮、静脉曲张、糖尿病、鼻炎、眼病、脑梗失眠专题研修班11月3...
兵地携手，将“就业友好”融入发...
编者按 就业是最大的民生，是保障群众增收、夯实共同富裕的重要基石。近年来，兵团与地方打破行政区...
“草根”不业余，热爱即主场
（来源：新华日报） □ 本报记者 高 伟 9月4日晚，2026年江苏省城市篮球联赛（简...
97名江苏运动员入选亚运会中国...
（来源：新华日报） 本报讯 （记者 高伟） 第20届亚运会将于9月19日至10月4日举行。9...