卓海科技取得接触式探头相关专利，探头调整磁力使探针力精准，保障测量精度
创始人
2026-07-04 10:56:50
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7月4日消息，国家知识产权局信息显示，无锡卓海科技股份有限公司申请一项名为“一种探头及接触式轮廓仪”的专利，授权公告号CN224455665U，授权公告日为2026年7月3日。申请号为CN202521541098.1，申请公布日期为2026年7月3日，申请日期为2025年7月23日，发明人邵倩倩、相宇阳、俞胜武，专利代理机构北京品源专利代理有限公司，专利代理师沈鑫洪，分类号G01B5/20、G01B5/28、G01B5/00、H01F7/02。

专利摘要显示，本实用新型属于产品检测技术领域，公开了一种探头及接触式轮廓仪。该探头，磁线圈的中轴线沿第一方向设置且固定连接于线圈安装座，线圈安装座上开设有沿第一方向延伸的滑槽，安装架上开设有对应滑槽设置的至少两个第一螺纹孔，螺栓穿过滑槽而与第一螺纹孔螺纹连接，螺栓的螺杆与滑槽的内侧壁间隙配合，能够调整永磁铁在第二方向上的空间位置而使永磁铁尽可能靠近磁线圈所产生的磁场中心位置，进而使永磁铁所承受的磁力尽可能接近理论磁力，探头的实际探针力尽可能等于理论探针力。该接触式轮廓仪通过应用上述探头，能够测量工件的轮廓尺寸和粗糙度参数，并能够确保测量精度。

天眼查数据显示，无锡卓海科技股份有限公司成立日期2009年6月3日，法定代表人相宇阳，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本7168.6725万人民币，实缴资本6206.7万人民币，注册地址为无锡市新吴区珠江路97号。无锡卓海科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目132次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息184条，拥有行政许可44个。

无锡卓海科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1吸附装置、半导体量测设备及晶圆吸附方法发明专利公布CN202610340258.92026-03-19CN122249023A2026-06-19张林、相宇阳、俞胜武
2真空烘烤平台、控制系统、控制方法和存储介质发明专利公布CN202511810206.52025-12-03CN121641779A2026-03-10耿晓杨、相宇阳、戴金方
3一种薄膜厚度测量装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511758712.42025-11-27CN121383875A2026-01-23李响、相宇阳、俞胜武
4一种探针偏差校准方法、装置和计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511682299.82025-11-17CN121276421A2026-01-06刘娜、相宇阳、俞胜武
5一种晶圆缺陷检测方法、设备和存储介质发明专利授权CN202511640112.82025-11-11CN121090560B2026-03-24阿民、相宇阳、俞胜武
6晶圆几何形貌测量方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511566630.X2025-10-30CN121437603A2026-01-30华沁怡、相宇阳、俞胜武
7一种信号采集电路及信号采集装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511566088.82025-10-30CN121441309A2026-01-30王文超、相宇阳、耿晓杨
8一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511398856.32025-09-28CN121164314A2025-12-19阿民、相宇阳、俞胜武
9一种缺陷检测设备和晶圆位置定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511361836.92025-09-23CN121114049A2025-12-12刘娜、相宇阳、俞胜武
10一种薄膜厚度的检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511301975.22025-09-12CN121163387A2025-12-19华沁怡、相宇阳、俞胜武
11一种设备通信方法、设备、通信系统、介质及产品发明专利公布CN202511205312.02025-08-27CN120768714A2025-10-10陈明习、相宇阳、俞胜武
12一种颗粒晶圆制备设备及方法发明专利公布CN202511201255.92025-08-26CN120992288A2025-11-21陈剑、相宇阳、俞胜武
13一种测量方法发明专利授权、公布CN202511141034.72025-08-15CN120627924B2025-10-24葛正、相宇阳、俞胜武
14一种薄膜微型特征的测量装置及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511132462.32025-08-13CN121141585A2025-12-16徐晨瑜、相宇阳、俞胜武
15一种光声膜厚量测设备及晶圆角度对准方法发明专利授权、公布CN202511046316.92025-07-29CN120558101B2025-10-17胡杨、相宇阳、俞胜武
16一种探头及接触式轮廓仪实用新型授权CN202521541098.12025-07-23CN224455665U2026-07-03邵倩倩、相宇阳、俞胜武
17测量点位的确定方法、装置、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510957615.12025-07-11CN120565439A2025-08-29戴丹蕾、相宇阳、俞胜武
18一种晶圆表面检测装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510957017.42025-07-11CN120854330A2025-10-28陈剑、相宇阳、俞胜武
19一种晶圆检测系统和晶圆检测方法发明专利公布CN202510869327.02025-06-26CN120668679A2025-09-19郭庆丰、相宇阳、俞胜武
20一种半导体控制器测试系统及测试方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202510804491.32025-06-17CN120315429A2025-07-15王子颖、相宇阳、陈学文
21检测辅助载具实用新型授权CN202521080867.22025-05-29CN224266848U2026-05-22俞胜武、相宇阳、陈剑
22一种传输设备的运动模拟装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510656068.32025-05-21CN120254459A2025-07-04耿晓杨、相宇阳、戴金方
23一种电子枪保护装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510602767.X2025-05-12CN120433124A2025-08-05耿晓杨、相宇阳、戴金方
24一种晶圆的寻边装置及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510546234.42025-04-28CN120356860A2025-07-22周擎天、相宇阳、俞胜武
25一种晶圆缺陷检测方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510544242.52025-04-28CN120473402A2025-08-12王世俊、相宇阳、俞胜武
26一种光程自动检测校准装置、方法及半导体设备发明专利公布CN202510471399.X2025-04-15CN120300049A2025-07-11俞天皓、相宇阳、俞胜武
27一种晶圆的缺陷检测装置及方法发明专利授权CN202510438634.32025-04-09CN120160984B2025-11-18陈烨伟、相宇阳、俞胜武
28一种光电倍增管的校准装置和校准方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510407147.02025-04-02CN120232515A2025-07-01阿民、相宇阳、俞胜武
29一种薄膜应力检测装置及系统实用新型授权CN202520607337.22025-04-02CN223870219U2026-02-03周擎天、相宇阳、俞胜武
30一种电子元器件替换型号确定方法、设备及产品发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510377524.02025-03-28CN119890101B2025-06-17周楠、相宇阳、戴金方
31一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520564813.72025-03-28CN223856393U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑
32一种接触式表面形貌测量装置实用新型授权CN202520585293.82025-03-28CN223856394U2026-01-30苏恒中、相宇阳、陈剑
33晶圆装夹机构及四探针电阻测量装置实用新型授权CN202520471950.62025-03-18CN223899686U2026-02-10武岩、相宇阳、俞胜武
34兼容型开放式晶圆盒装载装置发明专利授权、公布CN202510312325.12025-03-17CN119905440B2025-11-07魏坤、相宇阳、俞胜武
35一种台阶仪载台调平装置及台阶仪实用新型授权CN202520446660.62025-03-14CN223677455U2025-12-16魏坤、相宇阳、俞胜武
36探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪实用新型授权CN202520314021.42025-02-26CN223611577U2025-11-28王焕、相宇阳、俞胜武
37一种晶圆装载设备调试系统及方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411995075.82024-12-31CN119861694A2025-04-22陈学文、相宇阳、戴金方
38一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411878098.02024-12-19CN119642743B2025-08-15阿民、相宇阳、俞胜武
39一种适用晶圆缺陷检测的回转装置发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411619161.92024-11-13CN119310004A2025-01-14刘明东、相宇阳、俞胜武
40一种薄膜厚度测量方法、装置、电子设备、存储介质及计算机程序产品发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411610250.72024-11-12CN119517771B2025-08-15李响、相宇阳、俞胜武
41基于机器视觉的晶圆校准方法、装置、设备和介质发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411577024.32024-11-06CN119446999B2025-07-29王世俊、相宇阳、俞胜武
42一种台阶仪系统发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411562892.42024-11-05CN119063680A2024-12-03陈烨伟、相宇阳、俞胜武
43一种晶圆图形台阶高度测量方法、装置、设备及介质发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411544559.02024-10-31CN119493938A2025-02-21林晓坤、相宇阳、俞胜武
44一种镜片安装装置实用新型授权CN202422642052.02024-10-30CN223297201U2025-09-02高强、相宇阳、陈剑
45一种激光耦合装置及激光器实用新型授权CN202422579307.32024-10-24CN223180476U2025-08-01王海龙、相宇阳、陈剑
46显微成像系统实用新型授权CN202422579309.22024-10-24CN223216850U2025-08-12徐晨瑜、相宇阳、俞胜武
47一种激光器指向性测试结构实用新型授权CN202422561184.02024-10-22CN223217064U2025-08-12王海龙、相宇阳、陈剑
48一种紫外激光器实用新型授权CN202422547061.12024-10-22CN223218634U2025-08-12高庆港、相宇阳、陈剑
49翘曲片抓取用机械手臂实用新型授权CN202422559837.12024-10-22CN223326389U2025-09-12王远秀、相宇阳、俞胜武
50薄膜厚度的测量方法和装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411463815.32024-10-21CN118999377B2025-03-07戴丹蕾、相宇阳、俞胜武

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