数据显示，5月21日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购4.51亿元，位居当日股票ETF净流入排名9/1200。最新规模11.87亿元，前一日规模8.19亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为55.06%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购6.26亿元，位居股票ETF净流入排名第14/1200。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购5.99亿元，位居股票ETF净流入排名第19/1200。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购4.89亿元，位居股票ETF净流入排名第41/1200。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止5月21日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为5.82亿份，最新规模为11.87亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加138.40%，规模增加299.75%。

流动性方面，截止5月21日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额28.93亿元，日均成交金额1.45亿元；今年以来，89个交易日，累计成交金额73.56亿元，日均成交金额8265.17万元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益103.83%。

最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

声明：市场有风险，投资需谨慎。 本文基于第三方数据库自动发布，不代表Hehson财经观点，任何在本文出现的信息均只作为参考，不构成个人投资建议。如有出入请以实际公告为准。如有疑问，请联系biz@staff.sina.com.cn。