4月9日消息,国家知识产权局信息显示,湖北兴福电子材料股份有限公司申请一项名为“一种用于晶圆铝铜基的锌置换配方及工艺”的专利。申请公布号为CN121802395A,申请号为CN202511792514.X,申请公布日期为2026年4月7日,申请日期为2025年12月1日,发明人王蝶、秦祥、付艳梅、杨铭、罗海燕,专利代理机构湖北三峡专利代理事务所(普通合伙),专利代理师蒋悦,分类号C23C18/52、H10W20/00、H10W20/44、C23C18/18。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造及表面处理技术领域,具体公开了一种用于晶圆铝铜基的锌置换配方及工艺,铜含量≤0.5%。解决了现有锌置换工艺存在的锌层粗糙、疏松、均匀性及结合力差的问题。本发明的锌置换溶液包含:锌离子源、络合剂、pH缓冲剂、晶粒细化剂和表面活性剂。其中,所述晶粒细化剂为选自聚丙烯酸,氨基三亚甲基膦酸,3‑氨基‑1,2,4‑三唑中的至少一种,所述表面活性剂为选自聚乙二醇、聚乙烯亚胺、烷基多糖苷中的至少一种。通过各组分的协同作用,可在晶圆铝铜基表面形成一层致密、均匀、晶粒细小且结合力极强的锌置换层。本发明还提供了使用该配方的工艺流程,工艺稳定,所获锌层质量卓越,特别适用于对表面质量要求高的半导体晶圆制造。
兴福电子成立于2008年11月14日,于2025年1月22日在上海证券交易所上市,注册地址位于湖北省宜昌市,办公地址也在湖北省宜昌市。它是国内湿电子化学品领域的领先企业,产品技术先进,具备全产业链优势。
兴福电子所属申万行业为电子 - 电子化学品Ⅱ - 电子化学品Ⅲ,涉及中芯国际概念、电子化学品、磷化工等概念板块。公司目前主要从事湿电子化学品的研发、生产和销售,主要产品有电子级磷酸、电子级硫酸等通用湿电子化学品,以及蚀刻液、清洗剂等功能湿电子化学品。
2025年兴福电子营业收入为14.75亿元,在行业6家公司中排名第5,而行业第一名鼎龙股份为36.6亿元,第二名光华科技为29.64亿元,行业平均数和中位数分别是23.7亿元和23.57亿元。其主营业务中,通用湿电子化学品收入10.93亿元,占比74.13%。2025年净利润为2.06亿元,行业排名3/6,第一名鼎龙股份7.96亿元,第二名上海新阳(维权)3.01亿元,行业平均数和中位数分别为2.81亿元和1.78亿元。
湖北兴福电子材料股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种PTFE微孔折叠滤芯清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511994651.1 | 2025-12-26 | CN121668812A | 2026-03-17 | 李少平、郭岚峰、杨着、刘洋、汪泳 |
| 2 | 一种高纯度氢氧化钾的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511932357.8 | 2025-12-19 | CN121757885A | 2026-03-31 | 彭俊杰、欧阳克银、吴昊、王荣、王豪 |
| 3 | 一种炭化树脂中元素含量的检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511888861.2 | 2025-12-15 | CN121540696A | 2026-02-17 | 杨磊、曾远、贺兆波、李琴 |
| 4 | 一种高纯红磷中痕量杂质检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511868003.1 | 2025-12-11 | CN121762666A | 2026-03-31 | 曾远、杨磊、陈香蓉、贺兆波 |
| 5 | 一种适用于RDL工艺的剥膜液 | 发明专利 | 公布 | CN202511840165.4 | 2025-12-08 | CN121657383A | 2026-03-13 | 郑秋曈、钟昌东、高楒羽、张宗萍 |
| 6 | 一种先进封装用无氰碱性电镀银添加剂的制备方法及其先进封装用银电镀液 | 发明专利 | 公布 | CN202511828947.6 | 2025-12-05 | CN121781231A | 2026-04-03 | 李少平、付艳梅、秦祥、杨铭、陈小超 |
| 7 | 先进封装用无氰碱性银电镀液及在电镀银上的应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511828953.1 | 2025-12-05 | CN121802493A | 2026-04-07 | 李少平、付艳梅、秦祥、杨铭、陈小超 |
| 8 | 一种低Ge含量的SiGe/Si选择性蚀刻液及其制备方法和应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511820210.X | 2025-12-04 | CN121592351A | 2026-03-03 | 余迪、尹印、马瑞、臧洋、崔会东 |
| 9 | 一种具有PSPI侧壁保护功能的选择性BOE蚀刻液及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511820211.4 | 2025-12-04 | CN121780172A | 2026-04-03 | 许真、张庭、贺兆波、李金航 |
| 10 | 一种利用FIB制备TEM样品薄片的交叉减薄方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511810667.2 | 2025-12-03 | CN121703460A | 2026-03-20 | 黄莉、曾远、徐泽、欧阳克银 |
| 11 | 一种高纯黄磷中痕量杂质的ICP-MS检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511792309.3 | 2025-12-01 | CN121762665A | 2026-03-31 | 李少平、曾远、贺兆波、李琴、杨磊 |
| 12 | 一种用于晶圆铝铜基的锌置换配方及工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202511792514.X | 2025-12-01 | CN121802395A | 2026-04-07 | 王蝶、秦祥、付艳梅、杨铭、罗海燕 |
| 13 | 一种钨和三氧化钨的等速蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511792228.3 | 2025-12-01 | CN121802420A | 2026-04-07 | 钟博文、冯凯、王震、叶瑞 |
| 14 | 一种铜钛蚀刻液及其制备方法与应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511782213.9 | 2025-11-29 | CN121653659A | 2026-03-13 | 张玥、贺兆波、欧阳克银、钟昌东 |
| 15 | 长蚀刻寿命的缓冲氧化物蚀刻液及应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511782122.5 | 2025-11-29 | CN121736760A | 2026-03-27 | 李金航、张庭、罗海燕、刘春丽 |
| 16 | 一种电阻率大于1 Ω·cm的硅电极的蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511782209.2 | 2025-11-29 | CN121736761A | 2026-03-27 | 杨陈宗、尹印、万杨阳、余迪 |
| 17 | 一种高蚀刻速率的SiGe/Si蚀刻液及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511782118.9 | 2025-11-29 | CN121736759A | 2026-03-27 | 马瑞、尹印、余迪、臧洋 |
| 18 | 一种湿电子化学品用PFA瓶的清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511779494.2 | 2025-11-28 | CN121732518A | 2026-03-27 | 陈曦、叶瑞、郭岚峰、刘洋、许明杰 |
| 19 | 一种选择性氮化钛蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511765268.9 | 2025-11-27 | CN121736756A | 2026-03-27 | 杨俊伟、尹印、万杨阳、路明 |
| 20 | 一种IGZO和IGO的选择性蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511764914.X | 2025-11-27 | CN121736757A | 2026-03-27 | 余建平、尹印、杨俊伟、叶瑞 |
| 21 | 一种强络合铜废水的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511732820.4 | 2025-11-24 | CN121470717A | 2026-02-06 | 张宗萍、钟昌东、李文飞、欧阳克银 |
| 22 | 一种羟基磷灰石-氧化铈复合材料的制备方法及化学机械抛光液 | 发明专利 | 公布 | CN202511732814.9 | 2025-11-24 | CN121651303A | 2026-03-13 | 邹哲敏、贺兆波、罗月、刘文戈 |
| 23 | 一种非离子型萘酰亚胺光酸衍生物及其应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511732818.7 | 2025-11-24 | CN121698806A | 2026-03-20 | 粟鹏、周钢翔、吴翔、崔会东 |
| 24 | 一种电子级复合包装桶及制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511722214.4 | 2025-11-21 | CN121404647A | 2026-01-27 | 王洪杨、邹磊、杨着、周小龙 |
| 25 | 一种磺酸肟酯类光致产酸剂制备方法及用途 | 发明专利 | 公布 | CN202511721181.1 | 2025-11-21 | CN121673260A | 2026-03-17 | 胡聪、周钢翔、吴翔、叶瑞 |
| 26 | 一种用于TGV玻璃通孔蚀刻的BOE溶液及其应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511712184.9 | 2025-11-20 | CN121494345A | 2026-02-10 | 董攀飞、张庭、贺兆波、李金航 |
| 27 | 一种氮化硅和氧化硅的选择性蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511712181.5 | 2025-11-20 | CN121780168A | 2026-04-03 | 班昌胜、冯凯、李飞、李素云 |
| 28 | 一种3D NAND深孔结构蚀刻液及其制备方法与应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511711837.1 | 2025-11-20 | CN121780170A | 2026-04-03 | 李飞、冯凯、班昌胜、王书萍 |
| 29 | 一种膜分离耦合离子交换树脂的电子级磷酸制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511702497.6 | 2025-11-19 | CN121493891A | 2026-02-10 | 胡杜娟、姜飞、贺兆波、陶瑞 |
| 30 | 高温选择性刻蚀氮化硅的蚀刻液及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511703236.6 | 2025-11-19 | CN121780169A | 2026-04-03 | 李素云、冯凯、李飞、严凡 |
| 31 | 一种用于不同锗含量SiGe叠层的高选择比蚀刻液及使用方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511703434.2 | 2025-11-19 | CN121780167A | 2026-04-03 | 臧洋、尹印、余迪、马瑞 |
| 32 | 石英蚀刻液及其蚀刻方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511703242.1 | 2025-11-19 | CN121780171A | 2026-04-03 | 杨翠翠、张庭、武昊冉、蒲帅 |
| 33 | 高选择性的钛硅氮/氮化钛蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511694499.5 | 2025-11-18 | CN121699612A | 2026-03-20 | 严凡、冯凯、贺兆波、王勇军 |
| 34 | 超临界二氧化碳协同清洗电子级槽车系统与方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511684696.9 | 2025-11-17 | CN121491102A | 2026-02-10 | 李少平、刘洋、杨着、郭岚峰、汪鳙 |
| 35 | 用于抑制金属钛蚀刻的蚀刻液及应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511684488.9 | 2025-11-17 | CN121699614A | 2026-03-20 | 蒲帅、张庭、董攀飞、李金航 |
| 36 | 一种电子级HCl纯化系统及纯化方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511665017.3 | 2025-11-13 | CN121493870A | 2026-02-10 | 吴春元、贺兆波、杨着、蔡俊霄 |
| 37 | 一种高稳定性、高致密性的化学镀磷钯液及其制备方法和应用 | 发明专利 | 公布 | CN202511655928.8 | 2025-11-12 | CN121653626A | 2026-03-13 | 杨铭、秦祥、李文飞、王蝶 |
| 38 | 一种二氧化硅和钛的高选择性蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511647087.6 | 2025-11-11 | CN121652807A | 2026-03-13 | 武昊冉、张庭、李金航、许真、董攀飞 |
| 39 | 一种Micro LED用去胶液及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511647088.0 | 2025-11-11 | CN121674161A | 2026-03-17 | 黄锣锣、贺兆波、欧阳克银、钟昌东 |
| 40 | 一种用于金属钌的蚀刻后清洗剂及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511637878.0 | 2025-11-10 | CN121653670A | 2026-03-13 | 王亮、贺兆波、谢建、吴政 |
| 41 | 一种钼铟镓锌氧化物选择性蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511637879.5 | 2025-11-10 | CN121718349A | 2026-03-24 | 苏张轩、贺兆波、冯凯、严凡 |
| 42 | 一种高熔点电子级有机胺的提纯方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511628761.6 | 2025-11-07 | CN121517305A | 2026-02-13 | 王荣、贺兆波、欧阳克银、吴昊 |
| 43 | 一种碳化有机物清洗液 | 发明专利 | 公布 | CN202511628981.9 | 2025-11-07 | CN121652892A | 2026-03-13 | 李少平、万杨阳、尹印、张庭 |
| 44 | 一种肼二羧酸酯改性二氧化铈磨料的合成方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511628760.1 | 2025-11-07 | CN121674030A | 2026-03-17 | 陈钰坤、贺兆波、崔会东、罗月 |
| 45 | 一种适用于凸点工艺的剥膜液 | 发明专利 | 公布 | CN202511611041.9 | 2025-11-05 | CN121657382A | 2026-03-13 | 李少平、郑秋曈、欧阳克银、钟昌东、张演哲 |
| 46 | 一种IGZO和IZO的选择性蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511602693.6 | 2025-11-04 | CN121674068A | 2026-03-17 | 李少平、余建平、贺兆波、尹印 |
| 47 | 一种可选择性蚀刻高锗含量硅锗的蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511602697.4 | 2025-11-04 | CN121674065A | 2026-03-17 | 李少平、马瑞、贺兆波、尹印 |
| 48 | 一种去除多晶硅假栅的蚀刻液 | 发明专利 | 公布 | CN202511602859.4 | 2025-11-04 | CN121674066A | 2026-03-17 | 贺兆波、余迪、尹印、臧洋、马瑞 |
| 49 | 整平剂及铜电镀液 | 发明专利 | 公布 | CN202511570239.7 | 2025-10-30 | CN121718941A | 2026-03-24 | 郭岚峰、贺兆波、叶瑞、杨着、汪泳 |
| 50 | 一种电子级包装桶插管配件的横向自动组装装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511551087.6 | 2025-10-28 | CN121447400A | 2026-02-03 | 贺兆波、王洪杨、邹磊、周小龙、杨着 |
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