中欣晶圆申请硅单晶检测相关专利，实现硅单晶粗片全方位扫描及微观缺陷检测
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2026-03-07 10:19:44
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3月7日消息，国家知识产权局信息显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“一种硅单晶粗片的轮廓参数检测系统及工艺”的专利。申请公布号为CN121612895A，申请号为CN202511927715.6，申请公布日期为2026年3月6日，申请日期为2025年12月19日，发明人周卫宏，专利代理机构杭州融方专利代理事务所（普通合伙），专利代理师沈相权，分类号G01N21/95、G01N21/01、G01D21/02、G01B11/24。
专利摘要显示，本发明公开了一种硅单晶粗片的轮廓参数检测系统及工艺，包括：全息投影扫描模块，采用多波长激光合束技术生成复合光束，本发明涉及半导体材料检测技术领域。该一种硅单晶粗片的轮廓参数检测系统及工艺，通过全息投影扫描模块能够实现对硅单晶粗片的全方位、多角度扫描，覆盖整个表面及亚表面区域，有效解决了现有技术中检测范围局限的问题，避免了关键区域漏检和核心区域覆盖不全的情况，同时，量子传感检测模块基于量子纠缠和量子干涉原理，具有极高的检测灵敏度，能够感知硅单晶粗片表面及内部的微小磁场、电场和应力变化，从而准确检测出微观缺陷，解决了现有技术中微观缺陷检测灵敏度不足的问题。
天眼查数据显示，杭州中欣晶圆半导体股份有限公司成立日期2017年9月28日，法定代表人贺贤汉，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为大型，注册资本523559.0107万人民币，实缴资本503225.6776万人民币，注册地址为浙江省杭州市钱塘区东垦路888号。杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息418条，拥有行政许可22个。
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种硅单晶粗片的轮廓参数检测系统及工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202511927715.6 | 2025-12-19 | CN121612895A | 2026-03-06 | 周卫宏 |
| 2 | 基于边缘区域在线监测与动态压力补偿的抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511886277.3 | 2025-12-15 | CN121552237A | 2026-02-24 | 徐姜炜 |
| 3 | 针对晶圆倒角的晶圆边缘加工系统及倒角工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202511865282.6 | 2025-12-11 | CN121552186A | 2026-02-24 | 黄炜霞 |
| 4 | 一种片盒包装的装载、检查系统及安装方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511846572.6 | 2025-12-09 | CN121553472A | 2026-02-24 | 王斌 |
| 5 | 硅片V型槽抛光中心矫正的加工方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511816359.0 | 2025-12-04 | CN121572186A | 2026-02-27 | 吴福壮 |
| 6 | 预防供液管路结晶的冲洗装置及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511773551.6 | 2025-11-28 | CN121403247A | 2026-01-27 | 毛国领 |
| 7 | 改善双面抛光加工硅片厚度形貌倾斜的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511617289.6 | 2025-11-06 | CN121374420A | 2026-01-23 | 姚胜平 |
| 8 | 硅片小抛头的整组更换结构及其操作方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511617287.7 | 2025-11-06 | CN121424229A | 2026-01-30 | 陈彬 |
| 9 | 一种分析炉管清洗槽金属污染水平的检测方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511581737.1 | 2025-10-31 | CN121298370A | 2026-01-09 | 周桂丽、赵祥峰、戴潮、代治立、周卫宏 |
| 10 | 一种使用平板氧化铝进行半导体级硅片磨片的研磨液及研磨方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511586194.2 | 2025-10-31 | CN121427493A | 2026-01-30 | 高威 |
| 11 | 一种基于硅烷-氮气分阶断沉积的LPCVD均一性优化工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511586213.1 | 2025-10-31 | CN121428520A | 2026-01-30 | 赵祥峰 |
| 12 | 一种基于APCVD工艺的硅片倒角部位LTO层去除方法和系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511586203.8 | 2025-10-31 | CN121443043A | 2026-01-30 | 高威 |
| 13 | 流量校准的工具及其使用方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511577872.9 | 2025-10-31 | CN121521229A | 2026-02-13 | 王方立 |
| 14 | 检测设备相机的散热系统及其运行方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511577875.2 | 2025-10-31 | CN121559800A | 2026-02-24 | 李君 |
| 15 | 基于红外线阵扫描的倒角机崩边实时检测装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511567859.5 | 2025-10-30 | CN121104823A | 2025-12-12 | 杜书红 |
| 16 | 一种提升硅片背面去蜡能力的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511563995.7 | 2025-10-30 | CN121487521A | 2026-02-06 | 朱墨涵、王骞玮 |
| 17 | 基于CMP工序用的研磨液添加系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511549473.1 | 2025-10-28 | CN121223690A | 2025-12-30 | 杨石平 |
| 18 | 一种用于单晶硅片的高效低损伤研磨液及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511552895.4 | 2025-10-28 | CN121319792A | 2026-01-13 | 黄炜霞 |
| 19 | 用于消除LPCVD加工中硅片舟迹的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511529816.8 | 2025-10-24 | CN121575367A | 2026-02-27 | 黄明洋、李鹏 |
| 20 | 一种针对磨片定盘中沟槽研磨粉的柔性清洁系统及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511520729.6 | 2025-10-23 | CN121374419A | 2026-01-23 | 苏鹏辉 |
| 21 | 防止晶圆在高速旋转中裂片的气浮卡盘装置及其控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511488822.3 | 2025-10-17 | CN121548270A | 2026-02-17 | 方涛 |
| 22 | 用于解离硅片的样条装置及其控制方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511488820.4 | 2025-10-17 | CN121535855A | 2026-02-17 | 王烨华 |
| 23 | 基于自动化监控的单面抛光机台抛头寿命管理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511407269.6 | 2025-09-29 | CN121290170A | 2026-01-09 | 郭天天 |
| 24 | 一种基于差异化修整抛光布工艺优化方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511407270.9 | 2025-09-29 | CN121374293A | 2026-01-23 | 姚胜平 |
| 25 | 改善LTO膜外观良率的集预处理洗净和存储一体的可靠性工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202511410897.X | 2025-09-29 | CN121568529A | 2026-02-24 | 刘文涛 |
| 26 | 硅片在减薄时产品背面污迹的清洗方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511399762.8 | 2025-09-28 | CN121310868A | 2026-01-09 | 方一栋、缪燃、唐鸿钦 |
| 27 | 改善硅片局部平坦度的抛光工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511398863.3 | 2025-09-28 | CN121468288A | 2026-02-06 | 李赛武 |
| 28 | 硅片研磨设备的定盘清洁与维护方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511344562.2 | 2025-09-19 | CN121156902A | 2025-12-19 | 王小明 |
| 29 | SRP过度区宽度的计算方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511344565.6 | 2025-09-19 | CN121463785A | 2026-02-03 | 吴瑶 |
| 30 | CMP抛光布更换定位导向器及气泡排除辅助夹具 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511296333.8 | 2025-09-11 | CN121179349A | 2025-12-23 | 陈彬 |
| 31 | 具有缩小整根硅单晶棒电阻率范围的硅单晶拉制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511304565.3 | 2025-09-11 | CN121407221A | 2026-01-27 | 郭体强、齐旭东 |
| 32 | AMAT常压外延炉腔体的正压氦检设备及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511296263.6 | 2025-09-11 | CN121409526A | 2026-01-27 | 辜勇 |
| 33 | 硅片倒角机清洗槽加工后硅片背面残留水珠清理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511224626.5 | 2025-08-29 | CN121171927A | 2025-12-19 | 唐鸿钦、杨自立、罗敏杰 |
| 34 | 在LPCVD制备工艺中的高稳定性石英硅舟平台结构及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511224618.0 | 2025-08-29 | CN121161264A | 2025-12-19 | 刘文涛、李赛武 |
| 35 | 无尘室用适应多规格上料的升降式防震动工具车及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511215435.2 | 2025-08-28 | CN121083591A | 2025-12-09 | 田飞、杨自立 |
| 36 | 改善硅片经过SP1后产生背面手臂印记的工装及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511143738.8 | 2025-08-15 | CN121171964A | 2025-12-19 | 郑斌 |
| 37 | 半导体硅片检测人员智能培训与动态知识管理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511102792.8 | 2025-08-07 | CN121190261A | 2025-12-23 | 董盼盼、罗敏杰 |
| 38 | 半导体硅片返抛品全流程智能管理方法及系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511102795.1 | 2025-08-07 | CN121189357A | 2025-12-23 | 李叶梅、罗敏杰 |
| 39 | 针对磨片机的分体式清洁系统及工艺 | 发明专利 | 公布 | CN202511050050.5 | 2025-07-29 | CN120755109A | 2025-10-10 | 苏鹏辉 |
| 40 | 用于晶圆加工的BSD实验装置及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511050080.6 | 2025-07-29 | CN121004547A | 2025-11-25 | 魏朋朋 |
| 41 | 硅片装载泡沫箱开箱工具及其使用方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511017736.4 | 2025-07-23 | CN120793342A | 2025-10-17 | 杨自立、罗敏杰 |
| 42 | 一种用于硅片酸腐蚀的工艺方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510980373.8 | 2025-07-16 | CN121054480A | 2025-12-02 | 缪燃 |
| 43 | 一种针对硅片抛光机的销环柱自动清理系统及工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510973791.4 | 2025-07-15 | CN120734883A | 2025-10-03 | 王方立 |
| 44 | 一种晶圆片的检测系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510973721.9 | 2025-07-15 | CN120992647A | 2025-11-21 | 李鹏、包亚平 |
| 45 | 一种快速校准马波斯气压计的校正工具 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510975826.8 | 2025-07-15 | CN121048825A | 2025-12-02 | 石建群 |
| 46 | 一种提升12寸LTO背封膜厚均一性的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510968442.3 | 2025-07-14 | CN121046812A | 2025-12-02 | 陈珈璐、高洪涛、何荣 |
| 47 | 一种提高双面研削机清洗部清洗效果以及效率的结构和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510961337.7 | 2025-07-14 | CN121054525A | 2025-12-02 | 崔银昊 |
| 48 | 一种用于改善抛光片平坦度和划伤的方法 | 发明专利 | 公布 | CN202510961110.2 | 2025-07-12 | CN120772953A | 2025-10-14 | 张文军 |
| 49 | 研磨桶颗粒聚集的改进方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510950873.7 | 2025-07-10 | CN120791624A | 2025-10-17 | 孙贵昌 |
| 50 | 晶圆抛光机回收箱的改造挂件及其控制方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510950876.0 | 2025-07-10 | CN120862570A | 2025-10-31 | 张亚生、孙月超 |
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