1月24日消息,国家知识产权局信息显示,广东凯威存储技术股份有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆片表面缺陷检测装置”的专利。申请公布号为CN121384967A,申请号为CN202511484512.4,申请公布日期为2026年1月23日,申请日期为2025年10月17日,发明人黄锐庆、李金泓、谢文军,专利代理机构东莞市明诺知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师杨建荣,分类号G01N21/95、G01N21/01。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测技术领域,具体的公开了一种半导体晶圆片表面缺陷检测装置,包括机床本体,所述机床本体上开设有第一开槽,第一开槽的内部安装有放置板,放置板上均匀活动安装有多个放置架。本发明通过设置有夹杆与第一激光测距传感器,夹杆运动至待检测晶圆处,两个夹杆上第一激光测距传感器对晶圆的测距,并将检测数据传输至后台控制系统与标准数值进行比对,若检测数据超出标准数据值范围,则说明晶圆在放置架中放置位置不准确,通过这种操作方式可以完成对晶圆放置位置的准确度检测,防止晶圆在放置架内部放置位置不准确,造成的晶圆检测结果不准确以及后续转移过程中晶圆发生脱落产生晶圆损的情况发生。
天眼查数据显示,广东凯威存储技术股份有限公司成立日期2011年1月26日,法定代表人李金泓,所属行业为专业技术服务业,企业规模为中型,注册资本1557.2万人民币,实缴资本1200万人民币,注册地址为深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋11层1106室。广东凯威存储技术股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息24条,拥有行政许可8个。
广东凯威存储技术股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种半导体晶圆片表面缺陷检测装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511484512.4 | 2025-10-17 | CN121384967A | 2026-01-23 | 黄锐庆、李金泓、谢文军 |
| 2 | 一种汽车零部件检测用电热鼓风干燥箱 | 实用新型 | 授权 | CN202122731223.3 | 2021-11-09 | CN215952098U | 2022-03-04 | 朱新林 |
| 3 | 一种LED灯具检测用振动测试台 | 实用新型 | 授权 | CN202122725235.5 | 2021-11-09 | CN215985088U | 2022-03-08 | 高俊 |
| 4 | 一种LED灯具安规测试用高压测试台 | 实用新型 | 授权 | CN202122725616.3 | 2021-11-09 | CN216082866U | 2022-03-18 | 高俊 |
| 5 | 一种医用电气电源用防漏电检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN202122725597.4 | 2021-11-09 | CN216248199U | 2022-04-08 | 袁志高 |
| 6 | 一种零部件检测用EMC检测设备的夹装结构 | 实用新型 | 授权 | CN202122725621.4 | 2021-11-09 | CN216285533U | 2022-04-12 | 朱新林 |
| 7 | 一种医用电气电源检测用便携式电源极性检测器 | 实用新型 | 授权 | CN202122725604.0 | 2021-11-09 | CN216411350U | 2022-04-29 | 袁志高 |
| 8 | 一种基于电磁屏蔽的抗干扰探测装置及系统 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202111022670.X | 2021-09-01 | CN113790749A | 2021-12-14 | 罗桂林 |
| 9 | 一种LED散热器视觉检测设备 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布 | CN201911020006.4 | 2019-10-25 | CN110672634B | 2021-12-14 | 王海瑞、 李小丽、 王小强、 刘志平、 周伟闯 |
| 10 | 一种LED散热器视觉检测设备 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权、实质审查的生效、公布 | CN201911020006.4 | 2019-10-25 | CN110672634B | 2021-12-14 | 王海瑞、李小丽、王小强、刘志平、周伟闯 |
| 11 | 一种LED测试检测装置 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权、著录事项变更、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN201811623198.3 | 2018-12-28 | CN109597002B | 2021-02-26 | 徐明霞 |
| 12 | 一种LED测试检测装置 | 发明专利 | 专利申请权、专利权的转移、授权、著录事项变更、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN201811623198.3 | 2018-12-28 | CN109597002B | 2021-02-26 | 杨丽珍 |
| 13 | 一种智能型安规温度测试用恒温恒湿箱 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821641511.1 | 2018-10-10 | CN209061153U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 14 | 一种LED灯带卷绕装置用张力调节装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821640570.7 | 2018-10-10 | CN209065114U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 15 | 一种LED灯带卷绕装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821640576.4 | 2018-10-10 | CN209065121U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 16 | 一种智能型安规温度测试用加水装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821641496.0 | 2018-10-10 | CN209069455U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 17 | 一种天线EMC检测装置用支撑杆 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821640566.0 | 2018-10-10 | CN209069970U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 18 | 一种方便携带的信号采样装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821640563.7 | 2018-10-10 | CN209070016U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 19 | 一种自动转化天线转台用固定装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821640540.6 | 2018-10-10 | CN209071587U | 2019-07-05 | 罗桂林 |
| 20 | 一种用于EMC检测设备用降噪装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN201821641512.6 | 2018-10-10 | CN209446614U | 2019-09-27 | 罗桂林 |
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