数据显示，1月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购3473.26万元，位居当日股票ETF净流入排名84/1102。最新规模29.07亿元，前一日规模28.91亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.20%。

近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购6.95亿元，位居股票ETF净流入排名第30/1102。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购18.25亿元，位居股票ETF净流入排名第20/1102。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购18.06亿元，位居股票ETF净流入排名第31/1102。

华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)已连续11日资金获净申购，区间净流入额18.29亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。

规模方面，截止1月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为14.26亿份，最新规模为29.07亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加191.15%，规模增加267.29%。

流动性方面，截止1月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额37.45亿元，日均成交金额1.87亿元；今年以来，12个交易日，累计成交金额30.03亿元，日均成交金额2.5亿元。

华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益123.66%。

最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、安集科技、中科飞测、芯源微，持仓占比如下：

跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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