8月29日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种排气装置、反应腔和半导体镀膜设备”的专利，授权公告号CN117721445B，授权公告日为2026年8月25日。申请公布号为CN117721445A，申请号为CN202311749418.8，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2023年12月18日，发明人安超、荒见淳一、柴智、侯彬，专利代理机构北京市盈科律师事务所，专利代理师张晶，分类号C23C16/455、C23C16/46、H01J37/32。

专利摘要显示，本发明提供了一种用于反应腔的排气装置、一种用于半导体镀膜设备的反应腔，以及一种半导体镀膜设备。用于反应腔的排气装置包括抽气件、抽气通道和排气通道，抽气件为射频类的不良导体，抽气件的内侧与反应腔的本体形成容纳气体的抽气空间，抽气件的内侧表面被金属膜层覆盖以用于消除寄生电荷。本发明提供的一种用于反应腔的排气装置、一种用于半导体镀膜设备的反应腔，以及一种半导体镀膜设备能够使改善排气装置的成本十分低廉，并且能够降低异常放电的风险，消除空腔表面所堆积的寄生电荷，从而提高薄膜的颗粒度表现。

微导纳米是国内原子层沉积（ALD）设备领域领军企业，专注先进薄膜沉积装备研发，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2015年12月25日，2022年12月23日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于江苏省无锡市。

公司以ALD技术为核心，聚焦先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，覆盖年度强势、先进封装、存储概念等概念板块。

2026年上半年，微导纳米实现营业收入11.89亿元，在12家同行业可比公司中排名第8，低于行业平均数18.39亿元与行业中位数18.85亿元，同期行业营收前两位分别为晶盛机电34.52亿元、迈为股份29.09亿元；当期实现净利润1.02亿元，行业排名第7，低于行业平均数1.15亿元与行业中位数1.43亿元，同期行业净利润前两位分别为捷佳伟创3.75亿元、拉普拉斯3.18亿元。从主营业务构成来看，半导体设备贡献营收6.29亿元，占比53.11%；光伏设备贡献营收3.82亿元，占比32.27%；配套产品及服务贡献营收1.45亿元，占比12.27%；其他业务贡献营收2778.76万元，占比2.35%。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：

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