7月4日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“气动开关多联阀及使用方法”的专利，授权公告号CN121363650B，授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN121363650A，申请号为CN202410974673.0，申请公布日期为2026年7月3日，申请日期为2024年7月19日，发明人于威达、孙振聪、程超、刘凯宁、王丽鹤，专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师黄海霞，分类号F16K11/22。

专利摘要显示，本发明提供了一种气动开关多联阀及使用方法，涉及流体阀技术领域。包括阀体和阻断装置；所述阀体内设置有进液通道、多个支路通道，以及对应多个所述支路通道设置的多个中转凹槽；所述中转凹槽的底部开设有第一中转孔和第二中转孔，所述进液通道通过所述第一中转孔与所述中转凹槽连通，所述支路通道与对应的所述中转凹槽通过所述第二中转孔连通；所述阻断装置设置在所述阀体上，并与所述中转凹槽配合形成中转腔，所述阻断装置用于断通所述第一中转孔和/或所述第二中转孔。能够实现，单一支路供给，多支路通道通断，降低了排管的复杂性，使开关阀空间占用较小。

芯源微成立于 2002 年 12 月 17 日，于 2019 年 12 月 16 日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备领域的重要企业，在光刻工序涂胶显影设备及单片式湿法设备方面技术领先。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，所属概念板块包括中芯国际概念、大基金二期、半导体设备。

2025 年，芯源微实现营业收入 19.48 亿元，在 25 家行业公司中排名第 12，远低于第一名北方华创的 393.53 亿元和第二名中微公司的 123.85 亿元，高于行业中位数 14.26 亿元，但低于行业平均数 41.44 亿元。其主营业务中，电子工艺装备收入 18.79 亿元，占比 96.42%。净利润方面，2025 年为 7068.2 万元，行业排名 18/25，与第一名北方华创的 54.09 亿元、第二名中微公司的 20.64 亿元差距较大，低于行业平均数 6.09 亿元和中位数 1.77 亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

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