6月13日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种薄膜沉积设备及沉积方法”的专利，授权公告号CN118910582B，授权公告日为2026年6月12日。申请公布号为CN118910582A，申请号为CN202410977147.X，申请公布日期为2026年6月12日，申请日期为2024年7月19日，发明人杜晓禹、王新征、许所昌、苏晓华、龚炳建，专利代理机构深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师石惠，分类号C23C16/455、C23C16/44、C23C16/40。

专利摘要显示，本发明公开了一种薄膜沉积设备及沉积方法，涉及半导体技术领域。该薄膜沉积设备包括ALD主体、铪源过滤器及铪源管路，铪源过滤器的两端与ALD主体及铪源管路分别连接；ALD主体具有沉积腔室，铪源管路通过铪源过滤器与沉积腔室连通，铪源管路用于将四氯化铪气体通入沉积腔室，铪源过滤器用于过滤四氯化铪气体中的四氯化铪颗粒。本发明提供的薄膜沉积设备能够显著提升二氧化铪薄膜的沉积品质。

微导纳米成立于2015年12月25日，于2022年12月23日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均为江苏省无锡市。该公司是国内领先的高端薄膜沉积设备制造商，核心产品为ALD设备，技术实力强，产品广泛应用于多个领域。

微导纳米以ALD技术为核心，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案，所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，涉及半导体设备、专精特新、OLED等概念板块。

2025年，微导纳米实现营业收入26.33亿元，在行业12家公司中排名第9，远低于行业第一名捷佳伟创的154.72亿元和第二名晶盛机电的113.57亿元，也低于行业平均数56.11亿元和中位数45.56亿元。其主营业务中，光伏设备收入15.91亿元，占比60.43%；半导体设备收入8.81亿元，占比33.45%。当期净利润2.19亿元，行业排名第7，同样远低于第一名捷佳伟创的26.18亿元和第二名晶盛机电的8.59亿元，低于行业平均数5.17亿元和中位数2.96亿元。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：

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