芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻家族再添新成员
创始人
2025-11-26 11:55:56
0次
转自：新华财经
新华财经上海11月26日电（林郑宏） 据上海芯上微装科技股份有限公司11月25日消息，该公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。
来源：上海芯上微装科技股份有限公司官方微信公司表示，首台AST6200的发运，只是一个开始。芯上微装将以此次交付为契机，与产业链上下游伙伴紧密协作，加速推进国产光刻设备在更多应用场景的落地与验证。
编辑：谈瑞
相关内容
热门资讯
两部门紧急拨付1.5亿元支持浙...
本文转自【新华社】；财政部、应急管理部紧急拨付1.5亿元中央自然灾害救灾资金 支持浙闽桂3省（区）做...
博睿数据上半年营收5726万元...
观点网讯：8月28日，博睿数据发布2026年半年度报告。报告期内，公司实现营业收入5726万元，同比...
中创环保上半年营收1.58亿元...
8月28日，中创环保发布2026年半年报。报告显示，公司上半年营业收入为1.58亿元，同比增长0.1...
金陵药业(000919.SZ)...
格隆汇8月28日丨金陵药业(000919.SZ)公布2026年半年度报告，报告期内，公司实现营业收入...
利柏特：股东拟减持不超3%公司...
人民财讯8月28日电，利柏特(605167)8月28日公告，持股11.85%的股东振石集团（香港）和...
农行行长王志恒：上半年宽口径融...
21世纪经济报道记者 张欣 8月28日，农业银行在京召开2026年中期业绩发布会。据行长王志恒介绍，...
中控技术：上半年净利润同比下降...
人民财讯8月28日电，中控技术(688777)8月28日披露半年报，2026年上半年，公司实现营业收...
天津重拳扫黑除恶 4起涉黑恶案...
中新网天津8月28日电 (江莹)全国为期一年的深化扫黑除恶专项斗争全面启动以来，天津市始终保持高压态...
唐人神：上半年亏损10.46亿...
人民财讯8月28日电，唐人神(002567)8月28日披露半年报，2026年上半年，公司实现营业收入...
柠萌影视(09857)公告及通...
【柠萌影视：2026年上半年营收5.41亿元 同比增34.8%】柠萌影视公告称，截至2026年6月3...