芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻家族再添新成员
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2025-11-26 11:55:56
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转自：新华财经
新华财经上海11月26日电（林郑宏） 据上海芯上微装科技股份有限公司11月25日消息，该公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。
来源：上海芯上微装科技股份有限公司官方微信公司表示，首台AST6200的发运，只是一个开始。芯上微装将以此次交付为契机，与产业链上下游伙伴紧密协作，加速推进国产光刻设备在更多应用场景的落地与验证。
编辑：谈瑞
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