芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻家族再添新成员
创始人
2025-11-26 11:55:56
0次
转自：新华财经
新华财经上海11月26日电（林郑宏） 据上海芯上微装科技股份有限公司11月25日消息，该公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程发往客户现场，标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。
AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景量身定制。
来源：上海芯上微装科技股份有限公司官方微信公司表示，首台AST6200的发运，只是一个开始。芯上微装将以此次交付为契机，与产业链上下游伙伴紧密协作，加速推进国产光刻设备在更多应用场景的落地与验证。
编辑：谈瑞
相关内容
热门资讯
飞力达跌2.04%，成交额40...
6月22日，飞力达盘中下跌2.04%，截至09:35，报5.28元/股，成交404.05万元，换手率...
万祥科技跌1.44%，成交额4...
6月22日，万祥科技盘中下跌1.44%，截至09:35，报13.72元/股，成交418.56万元，换...
四川双马股价跌3.04%，西部...
6月22日，四川双马跌3.04%，截至发稿，报25.19元/股，成交4624.14万元，换手率0.2...
新化股份股价跌3.07%，景顺...
6月22日，新化股份跌3.07%，截至发稿，报37.90元/股，成交8563.29万元，换手率1.0...
阳谷华泰涨4.18%，成交额4...
6月22日，阳谷华泰盘中上涨4.18%，截至09:35，报12.47元/股，成交4065.68万元，...
四川双马股价跌3.04%，东兴...
6月22日，四川双马跌3.04%，截至发稿，报25.19元/股，成交4630.95万元，换手率0.2...
中孚信息跌2.82%，成交额6...
6月22日，中孚信息盘中下跌2.82%，截至09:35，报9.98元/股，成交651.07万元，换手...
益佰制药跌2.89%，成交额4...
6月22日，益佰制药（维权）盘中下跌2.89%，截至09:35，报3.02元/股，成交450.02万...
中恒集团跌3.06%，成交额7...
6月22日，中恒集团盘中下跌3.06%，截至09:35，报1.90元/股，成交761.10万元，换手...
碳中和ETF南方（159639...
6月22日，碳中和ETF南方（159639）开盘跌0.87%，报1.031元。碳中和ETF南方（15...