ASML申请用于运动控制系统增益平衡校准专利，在物理结构恒定加速阶段期间使用时域增益平衡校准
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2026-01-26 11:49:53
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“用于运动控制系统的增益平衡校准”的专利，公开号CN121368745A，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，描述了一种用于运动控制系统的校准方法。作为校准方法的一部分，确定用于在第一维度移动的物理结构的不同位置的增益调度矩阵。所述不同位置发生在所述物理结构的恒定加速期间。基于初始增益平衡矩阵、所述增益调度矩阵、来自前馈力信号的前馈力、以及反馈力来确定经校准的增益平衡矩阵。考虑到校准中所述增益调度矩阵的位置依赖性，这实际上是在所述物理结构的恒定加速阶段期间使用反馈力水平的时域增益平衡校准。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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